消息称 SK 海力士将在 1c DRAM 生产中采用新型 Inpria MOR 光刻胶

消息称SK海力士将在1cDRAM生产中采用新型InpriaMOR光刻胶SK海力士计划在第6代(1c工艺约10nm)DRAM的生产中使用Inpria下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是MOR首次应用于DRAM量产工艺。消息人士称,SK海力士量产的1cDRAM上有五个极紫外(EUV)层,其中一层将使用MOR绘制。他还补充说,不仅SK海力士,三星电子也将追求这类无机PR材料。(TheElec)

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消息称三星计划量产的 1c DRAM 使用 MOR 光刻胶

消息称三星计划量产的1cDRAM使用MOR光刻胶三星正在考虑在其下一代DRAM极紫外(EUV)光刻工艺中应用金属氧化物抗蚀剂(MOR)。MOR被业内认为是下一代光刻胶(PR),会接棒目前先进芯片光刻中的化学放大胶(CAR)。三星正考虑在第6代10纳米DRAM(1cDRAM)中使用MOR,主要在六层或七层上使用EUVPR,相关产品将于今年下半年投入生产。(科创板日报)

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中国科研团队完成新型光刻胶技术初步验证为EUV光刻胶开发做技术储备且光刻显影各步骤所需时间完全符合半导体量产制造中对吞吐量和生产效率的需求。作为半导体制造不可或缺的材料,光刻胶质量和性能是影响集成电路电性、成品率及可靠性的关键因素。但光刻胶技术门槛高,市场上制程稳定性高、工艺宽容度大、普适性强的光刻胶产品屈指可数。当半导体制造节点进入到100nm甚至是10nm以下,如何产生分辨率高且截面形貌优良、线边缘粗糙度低的光刻图形,成为光刻制造的共性难题。该研究成果有望为光刻制造的共性难题提供明确的方向,同时为EUV光刻胶的着力开发做技术储备。上述具有自主知识产权的光刻胶体系在产线上完整了初步工艺验证,并同步完成了各项技术指标的检测优化,实现了从技术开发到成果转化的全链条打通。...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1425913.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1425913.htm

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