SK海力士正在测试低温蚀刻设备 可在-70℃低温下生产闪存

SK海力士正在测试低温蚀刻设备可在-70℃低温下生产闪存与传统的蚀刻工艺相比,东京电子的这款低温蚀刻设备在工作温度上形成了鲜明对比。传统蚀刻工艺通常在0℃到30℃的温度范围内进行,而这款新设备能在-70℃的低温下运行,这样的低温环境为生产更高性能的3DNAND提供了可能。据东京电子提供的论文数据,这款新的蚀刻机能在短短33分钟内完成10微米深的高深度比蚀刻,效率比现有工具高出三倍以上。这一显著的技术进步不仅提高了3DNAND的生产效率,还有望进一步推动闪存技术的发展。目前,SK海力士的321层3DNAND采用了三重堆栈结构。而采用东京电子的新设备后,该公司可能实现以单堆栈或双堆栈的方式构建400层的3DNAND,这将进一步提升生产效率。然而,这一目标的实现还需等待新设备在可靠性及性能一致性方面的进一步验证。值得一提的是,东京电子的这款低温蚀刻设备在环保方面也表现出色。它采用氟化氢(HF)气体作为蚀刻介质,相较于传统系统使用的氟碳化物气体,具有更低的温室效应,为半导体行业的绿色发展提供了有力支持。此外,全球半导体巨头三星也在验证这一新技术。与SK海力士不同,三星选择了直接引进东京电子的新设备进行测试,显示出其对新技术的高度关注和积极态度。...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1429938.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1429938.htm

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长存/三星/SK海力士/美光最新3DNAND芯片对比:谁的密度更高?三星一直凭借其超高纵横比(UHAR)孔蚀刻实现的单层工艺主导了128层3DNAND。目前,三星仍然以最小的字线(WL)间距领先,这允许堆叠更多层,同时最大限度地减少对垂直通道(VC)高度和狭缝深度的工艺要求的影响。虽然看起来三星可能拥有最低的128层工艺成本,但它的裸片尺寸并不是最低的。这很重要,因为裸片面积越小,在300mm晶圆上可以制造的NANDFlash裸片数量就越多,利润也就越高。三星已开始在176层3DNAND(三星的第7代3DNAND)采用外围单元(COP)方法,这导致芯片尺寸相比上一代的73.60mm2显着减小至47.10mm2,存储密度也由6.96Gb/mm2提升至10.87Gb/mm2;美光从32层3DNAND(美光的第一代3DNAND)开始使用类似的方法,美光称之为CMOSunderarray,CuA,其上一代的176层芯片的尺寸为49.84mm2,存储密度为10.27Gb/mm2,而其最新量产的232层芯片存储密度则为14.60Gb/mm2;SK海力士则是从96层3DNAND(SK海力士的第四代3DNAND)开始使用类似的方法,SK海力士将其称为4DNAND,单元下外围或PUC),其176层芯片的尺寸为46.50mm2,存储密度为11.01Gb/mm2;长存在64层3DNAND(长存第二代3DNAND)应用自研的Xtacking技术,通过在外围电路上放置存储器阵列,实现了缩小芯片尺寸的优势,减小的裸片尺寸以及增加的有源字线(AWL)提高了位密度。长江存储最新的Xtacking3.0技术使得其232层3DNAND的存储密度得到了进一步提升,达到了15.03Gb/mm2,是目前最高的。根据长存YMTC232-L六平面1TbTLC芯片拆解来看,其具有CenterX解码器,具有15.03Gb/mm2的最高密度。下图1显示了该芯片的位密度(Gb/mm2)与AWL数量的关系。△图1:YMTC232-L1Tb芯片内部图像TechInsights预计,即将推出的232/238层芯片的平均存储密度将达到大约15Gb/mm2。在ISSCC2022上,三星的200+层测片(配备四平面1TbTLC芯片和边缘X解码器)的位密度为11.55Gb/mm2。当量产时,TechInsights预计其位密度将增加到14.5Gb/mm2。此外,带有CenterX解码器的SK海力士238层六平面1TbTLC芯片的存储密度估计为14.75Gb/mm2,比上一代将增加34%。美光已量产的232层六平面1TbTLC裸片据称为其存储密度为14.60Gb/mm2。显然,在232/238层级别,长存显示出最高的存储密度,预计三星的存储密度最低。但这并不意味着三星已经落后,因为还需要考虑的更重要的因素——总体成本,因此每bit成本的指标是最理想的比较数据。TechInsights表示,目前正通过其最近收购的ICKnowledge在努力计算每位成本,很快将会提供这些信息。...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1339507.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1339507.htm

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