【光刻机巨头ASML回应

【光刻机巨头ASML回应#美国出口管制新规：受影响的中国大陆晶圆厂数量有限】美国政府周二颁布了更新后的关于先进计算和半导体制造设备规则，增加了对先进芯片制造技术的出口限制。这些规定将在30天后生效。对此，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)在给《中国日报》的声明中表示，“根据目前收到的信息，我们认为适用该新规的涉及先进芯片制造的中国大陆晶圆厂数量有限。”ASML表示鉴于新规的篇幅和复杂性，它需要仔细评估潜在的影响。

光刻机巨头ASML：没有向中国市场推出特别版光刻机

光刻机巨头ASML：没有向中国市场推出特别版光刻机一周前，荷兰政府正式宣布限制某些先进半导体设备出口的新规，这些规定将于9月1日生效。具体而言，荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。尽管荷兰政府并未直接点名会受到限制的公司，但外界都明白这是在针对当地最出名的半导体设备公司ASML。彼时，ASML回应观察者网表示，根据新出口管制条例规定，该公司需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统（即TWINSCANNXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统）。荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证，并将向ASML提供许可证所附条件的细节。ASML在声明中重点指出，荷兰政府新颁布的出口管制条例只涉及TWINSCANNXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统（DUV，深紫外光刻）。而该公司的EUV光刻（极紫外光刻）系统在此前已经受到限制，其他系统的发运暂未受荷兰政府管控。ASML受出口管制的光刻机型号在荷兰政府宣布新的半导体出口管制条例后，中国驻荷兰大使馆6月30日很快做出回应：荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施，这是对出口管制措施的滥用，是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离，中方对此坚决反对。“我们呼吁荷方从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发，立即纠正错误做法。中方将坚决维护自身合法权益。同时，也愿与荷方一道，本着互利互惠的原则，共同探讨解决方案，共同推动中荷经贸关系健康发展。”中国驻荷兰大使馆发言人表示。ASML方面也早就对出口管制做出过警示。今年2月，在接受欧洲媒体采访时，ASML首席执行官温彼得直言，如果美国及其盟友切断中国（大陆）获得某些半导体和半导体制造技术的渠道，中国将被迫加倍努力开发自主技术。他坦言，虽然出口管制是合法工具，但不应该被滥用，决策者在“摆弄”半导体供应链之前应充分了解它的复杂性。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1369555.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1369555.htm

ASML正在开发hyper-NA EUV光刻机

ASML正在开发hyper-NAEUV光刻机 他表示，在未来十年内，ASML将构建一个集成低数值孔径、高数值孔径和超数孔径EUV系统的单一平台。这一举措被视为减少工艺步骤数量、降低晶圆加工成本和能源消耗的关键。VandenBrink进一步强调了Hyper-NAEUV工具的重要性，指出它能够简化复杂的双重图案工艺，降低生产难度。他解释说，这种高分辨率工具的可用性对于半导体制造行业至关重要。值得注意的是，高数值孔径EUV（high-NA）光刻技术目前正处于起步阶段。ASML自去年12月开始出货高数值孔径工具，目前仅英特尔一家采用，而台积电则表示短期内不会采用。为了推动该技术的研发和应用，ASML将在几周内正式在费尔德霍芬开设高数值孔径实验室，该实验室将与Imec共同运营，为芯片制造商提供该工具的早期使用权。事实上，该实验室的系统已经投入使用，并成功打印了有史以来第一个10纳米线阵图案。据VandenBrink的最新更新，该系统已经能够产生8nm线阵图案，接近该工具的最大分辨率。这一成果进一步证明了ASML在EUV光刻技术领域的领先地位和持续创新的能力。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1431859.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1431859.htm

ASML受限光刻机在华维护问题“悬而未决”

ASML受限光刻机在华维护问题“悬而未决”他补充说，美国并不打算限制设备供应商维护更多中国企业能够自行修复的外围部件。对于半导体设备来说，要想持续稳定在半导体制造产线上运行，设备的维护极为的关键。如果这些设备离开了售后维护，甚至可能会在一周之内就会出现问题。同样，设备的一些核心零部件也需要定期更换。据芯智讯了解，ASML光刻的工件台对准定位用的部件，一般来说，两年就需要更换。因此，国内的晶圆制造商如果想要维持产线的生产的稳定，产线上的ASML光刻机的核心部件的供应和维护极为关键。不过，需要指出的是目前ASML受限的光刻机主要是NXT:2000i及更先进的机型，其他未受限的光刻机型销售和维护是没有受到影响。当然，如果相关设备零部件涉及美国技术来源，则会受到美国的出口限制。虽然据芯智讯了解，ASML在国内拥有一个维修中心，可以对于一些关键零部件进行维修，但是如果相关零部件属于进口受限的，当国内光刻机相关属于进口受限的部件损坏后无法修复，也就无能为力。对于中荷双方来说，在去年年底前已经出口到中国的NXT:2000i及更先进的光刻机机型，随着许可的失效以及美方的进一步施压，ASML后续能否继续为这类设备提供维护则是一个悬而未决的问题。3月26日到27日，荷兰首相吕特在中国展开工作访问期间，关于光刻机的相关议题也就成为了外界极为关注的议题。范吕文表示，荷兰以贸易立国，主张自由贸易，高度重视对华经贸合作。中国是荷兰最重要的经贸伙伴之一，荷兰愿继续做中国可靠的合作伙伴。荷兰出口管制不针对任何国家，所做决定基于独立自主的评估，并在安全可控前提下尽可能降低对全球半导体产业链供应链的影响。期待两国进一步拓展绿色转型、养老服务等领域合作。另据外媒报道，范吕文在当地时间3月26日接受荷兰媒体采访时曾表示，他将捍卫ASML的利益视为首要任务。但他也表示，“我们和合作伙伴的国家安全因素会放在经济利益之前。”荷兰首相吕特3月27日在访问中国期间淡化了中荷之间在ASML制造的设备出口限制问题上的冲突。吕特拒绝回答关于荷兰政府是否会拒绝向ASML颁发许可证，让其继续为这些中国客户提供维护服务的问题。美国方面希望荷兰拒绝发放许可证。吕特说：“当涉及到我们的半导体行业和像ASML这样的公司时，当我们不得不采取（出口限制）措施时，荷兰会确保这些措施绝不会专门针对某个国家，我们总是努力确保影响是有限的。”...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1425386.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1425386.htm

ASML 首次公开展示 High NA EUV 光刻机

ASML首次公开展示HighNAEUV光刻机2月10日，ASML在荷兰总部向媒体展示新一代HighNAEUV光刻机TwinscanEXE:5000。这台光刻机尺寸等同于一台双层巴士；重达150吨，相当于两架空客A320客机；价值高达3.5亿欧元（约合27亿元人民币）；全套系统需要250个货箱装运，需要250名工程人员、历时6个月才能安装完成，不仅价格高昂也相当耗时。TwinscanEXE:5000可以制造8nm线宽电路，从而实现晶体管密度比前一代提高至2.9倍。https://laoyaoba.com/n/893942

光刻机巨头ASML创始人逝世 享年98岁

光刻机巨头ASML创始人逝世享年98岁据了解，WimTroost在飞利浦时期就对晶圆步进机的开发充满热情，他几乎是单枪匹马地在资源匮乏的情况下维持了项目的生命，并最终促成了飞利浦与ASM的合资，成立了ASML。在市场竞争激烈、公司生存艰难的时期，WimTroost的再次出山，为ASML奠定了坚实的基础。在《光刻巨人：ASML崛起之路》一书中提到，“WimTroost从废料堆中拯救了晶圆步进机。在二战后的几十年里，如果说有谁是飞利浦的代表人物，那非他莫属。”...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1434459.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1434459.htm