消息称台积电亚利桑那州工厂已开始安装首台EUV光刻机
消息称台积电亚利桑那州工厂已开始安装首台EUV光刻机 台积电是在2020年的5月15日,宣布在亚利桑那州建设晶圆厂的。计划2021年开始建设,目标是2024年投产,当时是计划建成之后采用5nm制程工艺为相关的客户代工晶圆,月产能20000片晶圆,预计2021年-2029年投资120亿美元。而在去年的12月6日,台积电宣布亚利桑那州工厂将升级到4nm制程工艺,并开始建设第二座晶圆厂,建成之后采用3nm制程工艺为相关的客户代工晶圆,两座晶圆厂的投资将接近400亿美元。就动工的时间来看,已开始安装首台EUV光刻机的,是台积电在亚利桑那州的首座工厂,也就是2020年5月份宣布建设的那一座晶圆厂。EUV光刻机是5nm、4nm、3nm等先进制程工艺必不可少的设备,对晶圆代工至关重要,当前仅阿斯麦能制造,台积电也已从阿斯麦采购了大量的EUV光刻机,未来还需要大量采购,用于3nm、2nm等制程工艺的代工。...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1378657.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1378657.htm
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